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超高分解能電界放出走査電子顕微鏡Regulusシリーズ

既存機種のSU 8240、SU 8230、SU 8220およびSU 8010が再統合され、Regulus 8240、Regulus 8230、Regulus 8220、Regulus 8100に派生した。「Regulusシリーズ」は既存機種の観察と分析性能を継承し、SU 8200シリーズの低騒音冷電

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超高分解能電界放出走査電子顕微鏡Regulusシリーズ

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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

既存機種のSU 8240、SU 8230、SU 8220およびSU 8010が再統合され、Regulus 8240、Regulus 8230、Regulus 8220、Regulus 8100に派生した。

「Regulusシリーズ」は既存機種の観察と分析性能を継承し、SU 8200シリーズの低騒音冷電界放出電子銃を搭載している^*1を選択すると、高安定なビームフローを得ることができる。

電子光学系の最適化により、Regulus 8240/8230/8220は1 kV条件下で0.7 nm、Regulus 8100の分解能は0.8 nmに向上した。

また、超高分解能を十分に発揮するため、拡大倍率も過去の100万倍から200万倍に引き上げた^*1。
Regulus 8240/8230/8220/8100はユーザーサポート機能も完備しており、この機能を通じてユーザーは各種の複雑な信号の検出原理を理解しやすくなり、ユーザーが機器の最適な性能を十分に発揮するのを助ける。

*1: Regulus 8240/8230/8220のみ

特徴
仕様

特徴

「SU 8200シリーズ」の冷間電界に沿って電子銃を発射する^*2
電子ビームがFlashing後に出現する高輝度安定領域を安定観察の区間として採用し、低加速電圧条件下で高分解能観察と分析の最適な性能を兼ね備える
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
汚染が小さく、高真空サンプル倉庫を採用する
エネルギーフィルタ（オプション）を用いて、多種の成分コントラストを観察することができる^*2

極低着陸電圧での高分解能観察

极低着陆电压下高分辨观察
サンプル：金粒子
着陸電圧：10 V

超高分解能観察

超高分辨观察
サンプル：Pt触媒
加速電圧：30 kV

低加速電圧での高分解能EDX解析

低加速电压下高分辨EDX分析
サンプル：Sn球
着陸電圧：1.5 kV

*2: Regulus 8240/8230/8220のみ

仕様

プロジェクト			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分解能			0.7 nm （加速電圧15 kV） 0.8 nm （着陸電圧1 kV）^*3	0.6 nm（加速電圧15 kV） 0.7 nm（着陸電圧1 kV）^*3
ちゃくりくでんあつ			0.1～2 kV	0.01～20 kV
拡大倍率			20～1000000倍^*4	20～2000,000倍^*4
サンプルテーブル	サンプルテーブル制御		3軸モータ台（5軸モータ台オプション）	5軸モータ駆動
	移動範囲	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	さいせい		-	-	-	±0.5µm以下±0.5µm含む

*3: 減速モードでの観察
*4: 127 mm×95 mmネガ基準の倍率

超高分解能電界放出走査電子顕微鏡Regulusシリーズ

特徴

仕様

特徴

極低着陸電圧での高分解能観察

超高分解能観察

低加速電圧での高分解能EDX解析

仕様

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